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ウェハ欠陥検査/レビュー装置 
MAGICSシリーズ M5640

マスク関連(半導体)

マスク欠陥検査装置
MATRICS X8ULTRAシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810EXシリーズ

マスク欠陥検査装置
MATRICS X810シリーズ

フォトマスク欠陥検査装置 
MATRICS X700HiTシリーズ

EUVマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
ABICS E120

EUVマスク裏面検査/クリーニング装置
BASICシリーズ

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM9650/M9651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズM8650/M8651

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M8350/M8351

マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S

位相差/透過率測定装置 
MPM193EX

位相シフト量測定装置 
MPM248